Tata cara shalat tahajjud tidak berbeda dengan shalat sunnah lain sebagai berikut:

1. Setelah takbirotul ihram (takbir pertama), baca surat Al Fatihah dan setelah itu disunnahkan membaca surat Al Kafirun (Qul Ya Ayyuhal Kafirun.. dst)

2. Raka'at kedua membaca Al Fatihah dan surat Al Ikhlas (Qul Huwa-Allahu Ahad.. dst)

3. Waktu ruku' membaca Subhana Rabbiyal Adzimi Wabihamdih 3x.

4. Waktu sujud membaca Subhana Rabbiyal A'la Wabihamdih 3x.

5. Setelah tahiyyat dan salam membaca do'a di bawah.

1. Hadis Abu Dawut meriwayatkan:

Ada seorang laki-laki dari ahli badiyah bertanya kepada Nabi tentang sholat malam.
Nabi menjawab dengan disertai 2 jarinya Nabi:” dua, dua ,dan witir 1 rokaat di akhir malam”

2. Hadis Bukhori meriwayatkan:

” ya Rosul,bagaimanakah sholat malam itu ?”
Rosul menjawab:
“2 rokaat,2 rokaat.lalu ketika kamu kuatir dengan waktu sholat subuh(mendekati subuh) maka sholat lah witir 1 rokaat”

3. Hadis Bukhori meriwayatkan :

Sahabat Masruk bertanya kepada Aisah tentang sholatnya Nabi pada waktu malam.

Aisah menjawab:” 7 rokaat, kadang 9 rokaat,dan kadang 11 rokaat…”

4. Hadis Bukhori meriwayatkan :

Abi Salamah bertanya kepada Aisah tentang sholat malam nya Nabi di bulan Romadhon.

Aisah(istri Nabi) menjawab:

“Nabi itu saat bulan Romadhon maupun bukan Romadhon tetap saja sholat malam 11 rokaat.yaitu:sholat 4 rokaat yang kamu jangan tanya tentang bagusnya dan panjangnya 4 rokaat tersebut.lalu sholat 4 rokaat lagi yang juga jangan tanya tentang bagus dan panjangnya.lalu Nabi sholat witir 3 rokaat”

5. Hadis Tirmidhi meriwayatkan:

Aisah berkata:”sesungguhnya Nabi sholat malam sebanyak 13 rokaat, termasuk 5 rokaat witir ”